SILICON CARBIDE CANTILEVER SLUR
Meysydd Cais: Mewn ffwrneisi tryledu a ffwrneisi tryledu ocsidiad tymheredd uchel a ddefnyddir yn y diwydiant gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion i berfformio twf thermol ac ocsidiad wafferi silicon, mae'r padl cantilifer yn elfen allweddol o'r system llwytho wafferi i sicrhau unffurfiaeth tiwb waffer a ffwrnais am fwy. trylediad ac ocsidiad unffurf. Nodweddir padlau cantilifer silicon carbid gan gryfder uchel, purdeb uchel, dargludedd thermol uchel, dim mandylledd, ymwrthedd i gyrydiad asid ac alcali, dim halogiad ar dymheredd uchel, sefydlogrwydd sioc thermol da, a chynhwysedd llwytho uchel. Ar y cyd â chyfernod ehangu thermol tebyg i haenau LPCVD, gall defnyddio padlau cantilifer carbid silicon mewn LPCVDs ymestyn cylchoedd glanhau cynnal a chadw yn sylweddol a lleihau halogiad yn fawr.
Disgrifiad
Un o brif fanteision y slyri crogi carbid silicon yw ei allu i sicrhau canlyniadau cyson ac unffurf. Mae'r slyri yn gallu darparu gorffeniad llyfn ac ansawdd arwyneb rhagorol, gan sicrhau bod y rhannau wedi'u peiriannu yn rhydd o grafiadau, craciau neu ddiffygion eraill.
Mantais arall o slyri ataliad carbid silicon yw ei fod yn gyfeillgar i'r amgylchedd. Nid yw'r slyri yn cynnwys unrhyw gyfansoddion peryglus na chemegau gwenwynig, sy'n ei gwneud yn ddiogel i'w ddefnyddio a'i waredu.
At hynny, mae slyri crogi carbid silicon yn gost-effeithiol iawn gan ei fod yn lleihau gwastraff deunydd ac amser prosesu yn sylweddol. Mae'r slyri yn gallu tynnu deunydd yn gyflymach na thechnegau malu a sgleinio traddodiadol, gan gynyddu effeithlonrwydd y broses weithgynhyrchu.
